Đồng hồ đo khí và đồng hồ đo áp suất chân

Giới thiệu về đồng hồ đo áp suất chân không

Đối với GoodMotor đồng hồ đo áp suất là một thiết bị quan trọng trong hệ thống chân không, vì nó cung cấp thông tin về áp suất hiện tại trong hệ thống và giúp người sử dụng điều chỉnh áp suất cho phù hợp với yêu cầu của quá trình hoạt động.

Chúng cũng có thể được sử dụng để xác định áp suất trong hệ thống là đủ thấp hay không để tối ưu hóa thí nghiệm không. Điều này cũng giúp người sử dụng đảm bảo rằng hệ thống hoạt động đúng cách và không gây ra bất kỳ vấn đề nào trong quá trình sử dụng.

Qua quá trình nghiên cứu của GoodMotor đồng hồ đo áp suất cũng có thể được sử dụng để hoạt động như một công tắc hoặc khóa liên động cho bơm thứ cấp, giúp người sử dụng kiểm soát quá trình hoạt động của bơm và điều chỉnh áp suất cho phù hợp.

Đồng hồ đo chân không là Tổng – tổng áp suất là một số áp suất riêng phần của mỗi loại khí: Định luật Dalton:

Đồng hồ đo áp suất

Áp suất riêng là áp suất đặt trên một phần lớn khí trong hệ thống chân không. Điều này có nghĩa là rằng áp suất riêng không phải là áp suất toàn bộ hệ thống mà chỉ là áp suất trên một phần của hệ thống. Theo GoodMotor đồng hồ đo áp suất tuyệt đối là một loại đồng hồ mà không cần sử dụng một bộ hiệu chuẩn ngoài để đo áp suất. Thay vào đó, chúng được hiệu chuẩn từ các đặc tính vật lý của riêng chúng.

PN2 = Pkhí (Sn2/Skhí)

Trong công thức trên, Sn2 là sự khác biệt giữa áp suất đo được và tham chiếu thay thế một phần tử lỏng hoặc đàn hồi/cơ khí cho nitơ và Skhí là sự khác biệt giữa áp suất đo được và tham chiếu thay thế một phần tử lỏng hoặc đàn hồi/cơ khí cho khí.

Xem thêm: Bộ lọc dầu cho máy bơm chân không vòng dầu

Cơ chế của đồng hồ đo

Đồng hồ đo áp suất trực tiếp dùng các cơ chế khác nhau để đo áp suất, bao gồm các cơ chế dựa trên lực tác dụng lên các phân tử khí và các cơ chế dựa trên sự thay đổi của một phần tử lỏng hoặc đàn hồi/cơ khí theo áp suất. Tại GoodMotor chúng sử dụng các cơ chế dựa trên sự thay đổi của tính chất của khí, thường là sự thay đổi của độ nhạy của khí đối với một tính chất khác nhau, như độ nhạy của khí đối với áp suất hoặc sự thay đổi của độ nhạy của khí đối với nhiệt độ. Đo áp suất gián tiếp có thể được sử dụng để đo áp suất trong một phạm vi rộng của áp suất và có thể được sử dụng trong các hệ thống chân không với áp suất UHV (Ultra High Vacuum).

Ptrue = Pindicated (N2) / si

Trong công thức trên, Ptrue là áp suất thực sự của khí trong hệ thống, Pindicated (N2) là áp suất được chỉ định bởi phương pháp đo gián tiếp và si là độ nhạy tương đối của khí ith.

Để tính toán áp suất của từng loài khí trong hệ thống, có thể sử dụng công thức sau:

Pi = Ptrue x si x ri

Trong công thức trên, Pi là áp suất của khí ith, Ptrue là áp suất thực sự của khí trong hệ thống, si là độ nhạy tương đối của khí ith và ri là thành phần tương đối của khí ith trong hệ thống.

:

Một số loại đồng hồ áp suất thường

Đồng hồ đo khí gián tiếp

GoodMotor cung cấp đồng hồ đo cặp nhiệt điện đo áp suất bằng cách sử dụng một bộ khử nhiệt và một cảm biến nhiệt điện để đo nhiệt độ khí trong hệ thống. Khi áp suất tăng, khí trong hệ thống sẽ trở nên nóng hơn, dẫn đến một tăng trưởng trong nhiệt độ khí. Loại này sẽ đo nhiệt độ khí và sử dụng một định luật để tính toán áp suất từ nhiệt độ đo được. Một điểm tốt của cặp nhiệt điện là chúng có khả năng đo trên một phạm vi rộng của áp suất, từ trung bình đến cao.

Đồng hồ đo capa-torr (thường được biết đến với tên gọi đồng hồ đo McLeod) cũng được sử dụng rất phổ biến trong các hệ thống chân không trung bình và cao. Chúng có tốc độ tương đối nhanh, chính xác và tính lặp lại tốt. Đồng hồ đo capa-torr được sử dụng để đo áp suất điện trở trong không khí, do đó chúng có một phạm vi đo đạt đến 10-6 mbar. Đồng hồ đo điện trở đôi (hay còn gọi là đồng hồ đo cặp nhiệt điện) cũng được sử dụng trong các hệ thống chân không trung bình và cao, bởi vì chúng có tốc độ tương đối nhanh, chính xác và tính lặp lại tốt. Đồng hồ đo điện trở đôi được sử dụng để đo áp suất điện trở trong không khí, do đó chúng có một phạm vi đo đạt đến 10-6 mbar.

Biểu đồ 1

Đồng hồ đo cũng có thể được chia thành hai loại chính: đồng hồ đo thực tế (hoặc độc lập) và đồng hồ đo tương đối (hoặc tương quan). Đồng hồ đo thực tế có thể đo được áp suất trong một hệ thống chân không mà không cần đến một điểm tham chiếu tuyệt đối. Đồng hồ đo tương đối, tuy nhiên, cần đến một điểm tham chiếu tuyệt đối để đo được áp suất trong hệ thống chân không. Ví dụ, một đồng hồ đo áp suất tương đối có thể sử dụng một áp suất mặc định như không khí hoặc nitơ trong không khí để tính toán áp suất thực tế trong hệ thống chân không.

Ngoài ra, đồng hồ đo capacitive cũng được sử dụng rộng rãi trong hệ thống chân không. Chúng có khả năng đo tính chất của khí thay đổi theo áp suất và không phụ thuộc vào loại khí hiện diện. Tuy nhiên, đồng hồ đo capacitive có giá mềm hơn và có khả năng đo áp suất không chính xác hơn so với các loại đồng hồ đo khác. Vì vậy, chúng thường được sử dụng trong các hệ thống chân không trung bình và thấp, hoặc như là một phụ trợ cho các đồng hồ đo khác trong các hệ thống chân không cao.

Khí gasSgasKhí gasSgas
Air0,97 – 1,00CH41,40 – 1,62
CO21,3 – 1,45Kr1,72 – 1,94
He0,14 – 0,25N21.0
H20,36 – 0,60H2O0,86 – 1,25

Tuy nhiên, để đảm bảo độ chính xác cao, GoodMotor khuyên bận nên yêu cầu hiệu chuẩn càng thường xuyên càng tốt. Đồng hồ đo capa còn có khả năng đo áp suất tuyệt đối của khí khá lạnh, giúp cho chúng có thể được sử dụng trong các hệ thống chân không cực thấp.

GoodMotor cũng xin lưu ý rằng một số yếu tố như nhiệt độ, độ ẩm và áp suất không bằng không có thể ảnh hưởng đến chính xác đo lượng của đồng hồ đo. Vì vậy, cần phải điều chỉnh đồng hồ đo cho các điều kiện khí họat hiện tại. Để xác định độ chính xác của đồng hồ đo, nó cũng có thể được hiệu chuẩn bằng cách sử dụng một đồng hồ đo đã được hiệu chuẩn, hoặc bằng cách sử dụng một đối tượng có áp suất đã được xác.

Xem thêm: Các yếu tố hiệu chuẩn đồng hồ đo áp suất

0932.95.15.81